半導体製造装置 各種ユニット修理、エクスチェンジ、中古機販売

ここに掲載していないメーカー・機種でもまずはご相談ください。

静電チャック（ESC）修理

＜工程（使用シーン）＞
Etch / CVD / Implant / PVD / Ashing / Testing

制御パソコン修理

<メーカー Manufacturer>
NEC / FUJITSU / HP / HP9000 ワークステーション / 工業用HP9000 ワークステーション / DELL / SUN ワークステーション / digital

マスフローコントローラー（MFC）修理

<メーカー Manufacturer>
Horiba/STEC / Unit / AERA MKS / Brooks / 日立金属/SAM

Remote Plasma Source(RPS)　リモートプラズマソース　修理

<メーカー Manufacturer>
MKS / AE

マイクロン電源（MICROWAVE）修理

<メーカー Manufacturer>
MKS / Daihen

RF電源（RF GENERATOR）修理

<メーカー Manufacturer>
ENI / Kyosan / AE / COMDEL / ADTEC

マッチングボックス（MATCH）修理

<メーカー Manufacturer>
AMAT / ENI / AE / Kyosan

DC電源（DC POWER SUPPLY）修理

<メーカー Manufacturer>
AE

モーター/モータードライバー（MOTOR/DRIVER）修理

<メーカー Manufacturer>
NSK / Kollmorgen / YASKAWA / Vexta / MITSUBISHI / Allen-Bradley / Pfeiffer / DDI

基板(PCB）修理

<基盤>
AMAT VGA BOARD / AMAT SBC BOARD / Analog / Digital / Chamber / HITACHI / NTL / Mainframe Interface Board / MASA / MEI / MKS / NIKON STEPPER BOARD / OMS / OTF / PCB / PED-BIAS / PVD / SBC / SEI / SERIPLEX / TC / HERMALOGIC Board / VGA video controller board / VME / Wafer Orienter Board / 64 CHANNEL MUX Board

ウエハテスト装置基板修理

<メーカー Manufacturer>
ADVANTEST / Teradyne / YOKOGAWA

ウエハプローバ(Prober)基板

<メーカー Manufacturer>
TSK / TEL

ロボット（Robot）修理

<メーカー Manufacturer>
Brooks / Genmark / Kensington / Asyst / IDE / ADE / AMAT / RORZE / JEL / ISEL / TAZMO / MECS / Cybeq robot / Canon/Nikon / Axcelis / Kawasaki / Yaskawa / ISEL prealigner / Novellous

ターボポンプ

<メーカー Manufacturer>
ALCATEL / EDWARDS / EBARA / LEYBOLD / MITSUBISHI / OSAKA / PFEIFFER / SEIKO SEIKI / SHIMADZU / VARIAN

チラー（温調器）修理・改造

<メーカー Manufacturer>
SMC / RISSHI（リッシー） / 三栄技研 / Weinreich / NESLAB / ORION（オリオン） / 西山工業 / HACHIKOU / アクアテック / 伸和コントロールズ / ダイキン / HABOR / RASCO　（ラスコ） / TAITEC　（タイテック） / ニコン製ステッパー(冷凍機改造) / CKD / ステップサイエンス / 東京精密

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