取扱部品、パーツの紹介
材質：タングステン、モリブデン、タンタル、アルミ、ステンレス、カーボン、セラミックス、石英、樹脂、etc
イオン注入
装置
AMAT、Axcelis、Varian、Nissin、Sen、AIBT etc.
高電流、中電流、高エネルギー、6inch、8inch、12inch
ユニット（ASSY）
Ion Source、Extraction Electrode、Analyzer Magnet、Beam Line、Plasma Flooding System
部品名
Arc Chamber、Front Slit、Cathode、Filament、Insulator etc.
材質
タングステン、モリブデン、タンタル、グラファイト、セラミック、BN、SUS、Al etc.
エッチング、拡散、CVD
装置
Applied Materials、Lam Reserach、Mattson、TEL etc. 6inch、 8inch、 12inch
部品名
反応管、ボート、ベルジャー、Focus Ring、Shield Ring、Edge Ring、COVER RING、Window、Pin、SCREW etc.
材質
石英、サファイア、PTFE、PEEK、VESPEL、PBI、POM、PVDF、セラミック etc.
