半導体製造装置 各種部品

取扱部品、パーツの紹介
材質:タングステン、モリブデン、タンタル、アルミ、ステンレス、カーボン、セラミックス、石英、樹脂、etc

イオン注入

装置

AMAT、Axcelis、Varian、Nissin、Sen、AIBT etc.
高電流、中電流、高エネルギー、6inch、8inch、12inch

ユニット(ASSY)

Ion Source、Extraction Electrode、Analyzer Magnet、Beam Line、Plasma Flooding System

部品名

Arc Chamber、Front Slit、Cathode、Filament、Insulator etc.

材質

タングステン、モリブデン、タンタル、グラファイト、セラミック、BN、SUS、Al etc.

エッチング、拡散、CVD

装置

Applied Materials、Lam Reserach、Mattson、TEL etc. 6inch、 8inch、 12inch

部品名

反応管、ボート、ベルジャー、Focus Ring、Shield Ring、Edge Ring、COVER RING、Window、Pin、SCREW etc.

材質

石英、サファイア、PTFE、PEEK、VESPEL、PBI、POM、PVDF、セラミック etc.