◆チラー(温調器)修理・改造
【メーカー】 SMC / RISSHI(リッシー) / 三栄技研 / Weinreich / NESLAB / ORION(オリオン) / 西山工業 / HACHIKOU / アクアテック / 伸和コントロールズ / ダイキン / HABOR / RASCO (ラスコ) / TAITEC (タイテック) / ニコン製ステッパー(冷凍機改造) / CKD / ステップサイエンス / 東京精密 【型式】 INR*系 / CS-*系 / μEX-****系 / TCW-****系 / MX-*00系 / HX-**0系 / RTE-***系 / AP-*00系 / RKF-1*0系 / RKL-***0系 / RKS-**0系 / / RKE***00系 / CH*系 / UBR*系 / WTC-2*00系 / CH-40*系 掲載していないメーカー・機種でもまずはご相談ください。
◆ターボポンプ、ターボポンプコントローラー 修理
【メーカー Manufacturer】 Alcatel/Mitsubishi/Osaka/Shimadzu/Ebara/EDWARDS/Varian/ULVAC/Leybold/Pfeiffer 【ターボポンプ型式】 MDP/ATP/ATH/PT/FT/TG/TH/TMP/TMPV/ET/EXT/STP/V/UTM/TW/MAG/Hipace/TPH/TMH
◆ロボット(Robot)修理
【メーカー Manufacturer】 Brooks/Genmark /Kensington/Asyst/IDE /ADE/AMAT /RORZE/JEL /ISEL/TAZMO /MECS /Cybeq robot/Canon/Nikon/Axcelis/Kawasaki/Yaskawa/ISEL prealigner/Novellous : PRI/VTR(MAG) series /HP/VHP
◆ウエハプローバ(Prober)基板
【メーカー Manufacturer】 TSK/TEL 【装置型式】 UF200/UF200A/P8XL【品名】 CPU BOARD/Cognex 4200 Board/ VGAC BOARD/Image relay baord/PROFILE SENSOR/Main driver/PIO Board/Loader PGEN Board/Key CONT/Temperaturer Controller/VIP3/VIP4/MOMI HD Board
◆ウエハテスト装置基板修理
【メーカー Manufacturer】ADVANTEST/Teradyne /YOKOGAWA 【装置型式(Equipment)】/T5377S/T5377/T5377S/T5375/T5377/T5375/T5377/T5377S/T5365/T5371/T5581/T5585/T5335P/T6731(ND1)/T6732(ND2)/T6733(ND3)/J750/TS6700/ST6730
◆基板(PCB)修理
【品名】AMAT SBC BOARD(V452, V440)/AMAT VGA BOARD/AMAT VME BOARD/AMAT A/O BOARD/SBC V452/SBC V440/SBC V21/VME PIII 400MHZ/MEI board/VGA video controller board/SEI Board/ANALOG I/O Board/Analog Input Board/Analog Output Board/Digital I/O Board/Digital I/O Card/ASSY PCB STEPPER CNTRLR W/DAUGHTER CARDS/Stepper Controller Board/OMS Board/SERIPLEX MUX BOARD/OTF Centerfinder Board/Chamber Interface 5200 HDP-CVD Ultima/Chamber Interface Board/Mainframe Interface Board/Analog Sync Detect Board/64 CHANNEL MUX Board/SERIPLEX MUX I/O Board/Seriplex SPX-MUXADIO-001/TC AMP Interlock/THERMALOGIC Board/Wafer Orienter Board/CONT ASSY,PRESS PNEU(AMAT CMP ANALOG BOARD, PNEUTRONICS)/AMAT INTER LOCK BOARD/MKS CDN 396R BOARD/AMAT(300MM) PVD CHAMBER INTER LOCK BOARD REV02/PVD/IMP CHAMBER INTER LOCK BOARD/PED-BIAS CHBR I/L PCB BOARD/AS GAS HEATER CONTROL BOARD/INTL GAS HEATER CONTROL BOARD/AMAT CVD INTERGACE BOARD/MASA POWER SYS BOARD /HITACHI MMPC-03A BOARD/NIKON STEPPER BOARD/PCB ASSY 5 PHASE STEPPER DRIVER INTERFAC/AMAT MONOCHROMATOR(EPD)
◆モーター/モータードライバー(MOTOR/DRIVER)修理
【メーカー Manufacturer】 NSK/Kollmorgen/YASKAWA/Vexta/MITSUBISHI/Allen-Bradley/Pfeiffer/DDI 【Description】 Motor/Driver/Servo Motor/Servo Driver/5-Phase Driver/AC Servo Driver/Ultra Series Driver/Ultra 3000i Driver/Vacuum Turbo Pump Controller/I/O Controller 【Model】 RS0810FN544/RZ0810FN507/EP0810AF3-05/EP0810AF5-05/EP0810AF7-05/EP0810AF8-05/J1003A/Y2020A/Y3040A/M-FZ168/CR10704/CR06250/CR06902/D101A-93-1215-001/D101B-93-1210-014/SGDA-04ASY283/SGDB-44ADG/SGDB-75DGY/SGDM-50ADA/UDK5114N/UDX5114/UDX5128N/MR-J2-40B/MR-J2S-70/MR-J2S-200CP/1398-SR3AF/ASM-300/010X/019X/020X/030X/050X/TC600/TIC250/TC750/27-10157-00
◆DC電源(DC POWER SUPPLY)修理
AE/DC Power Supply/【Model No】MDX-L6K/MDX-L6K-HALO/MDX-10K/MDX-L12M/MDX-L12M-650/PINNACLE 6K/PINNACLE 10K/PINNACLE 20K
◆マッチングボックス(MATCH)修理
【メーカー Manufacturer】 AMAT/ENI/AE/Kyosan 【Model】 P5000/HE/MWD/Navigator/TCE7822S 【Part No】 ETCH 0010-09416 0010-36162/H.E.ETCH 0010-30686/DPS 0010-36114 0010-36408/T/F CVD 0010-09750 0010-09417 0010-04138/T/F PVD 0010-20524 0010-20525/H.E.PVD 0010-22225 0010-13627 0010-02372/0010-22161 0010-05846 0010-13878 0010-21748/0010-01929 0010-02977 0010-12112 0010-02113/0010-30236 0010-33724 0010-26180 0010-30236/0010-33724 0010-21748 0010-02372 0010-26180/MWD-25LD-02/MWD-25LD-06/MWD-55LD/3155132-001/004/3155123-011/3155126-005/009/011/020/3155162-023/027/037/041/3155166-012/014/MBK20-T019
◆RF電源(RF GENERATOR)修理
【メーカー Manufacturer】ENI/Kyosan/AE/COMDEL/ADTEC/OEM/NOVA/GMW/GHW/ACG/RFG/RF/AX/【Model】OEM/NOVA/GMW/GHW/ACG/RFG/RF/AX
◆マイクロン電源(MICROWAVE)修理
【メーカー Manufacturer】MKS/Daihen 【Description】 Smart Power/MW Generator/MW Magnetron Head/Smart Match/DC Power Supply/MW Power Supply/MW Auto Tuner 【Model No】 FI20160-3/AX2115/S15ITBC/FI20162-3/SXRHC/FI10002/AX3060-10/FI20045/FI10001/ECOPS/ATP-30B/ATP-15B/ATP-10B/AKP-60B/ATM-30A/ATM-15C/AKM-60B/SMA-30D1/SMA-20B/SMA-15B
◆リモートプラズマソース 修理
【メーカー Manufacturer】 MKS/AE 【Description】 RPS-2L/RPS-3L/RPS-4L/RPS-6L/RPS-8L/RPS-15L/RPS-22L/RPS-30L/Rapid (6KW) 【Model No】 FI20120/FI20620/FI26201/AX7650/AX7651/AX7657/AX7658/AX7675/AX7851/AX7670/FI80130/AX7680/FI80131/FI80133/AX7685/FI80132/FI80146/AX7640/AX7645RH/AX7645PS/AX7635/AX7665/AX7667/3151801-004/3151801-004A/3151801-003B