◆チラー(温調器)修理・改造

【メーカー】 SMC / RISSHI(リッシー) / 三栄技研 / Weinreich / NESLAB / ORION(オリオン) / 西山工業 / HACHIKOU / アクアテック / 伸和コントロールズ / ダイキン / HABOR / RASCO (ラスコ) / TAITEC (タイテック) / ニコン製ステッパー(冷凍機改造) / CKD / ステップサイエンス / 東京精密 【型式】 INR*系 / CS-*系 / μEX-****系 / TCW-****系 / MX-*00系 / HX-**0系 / RTE-***系 / AP-*00系 / RKF-1*0系 / RKL-***0系 / RKS-**0系 / / RKE***00系 / CH*系 / UBR*系 / WTC-2*00系 / CH-40*系 掲載していないメーカー・機種でもまずはご相談ください。

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◆ターボポンプ、ターボポンプコントローラー 修理

【メーカー Manufacturer】 Alcatel/Mitsubishi/Osaka/Shimadzu/Ebara/EDWARDS/Varian/ULVAC/Leybold/Pfeiffer 【ターボポンプ型式】 MDP/ATP/ATH/PT/FT/TG/TH/TMP/TMPV/ET/EXT/STP/V/UTM/TW/MAG/Hipace/TPH/TMH

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◆ロボット(Robot)修理

【メーカー Manufacturer】 Brooks/Genmark /Kensington/Asyst/IDE /ADE/AMAT /RORZE/JEL /ISEL/TAZMO /MECS /Cybeq robot/Canon/Nikon/Axcelis/Kawasaki/Yaskawa/ISEL prealigner/Novellous : PRI/VTR(MAG) series /HP/VHP

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◆ウエハプローバ(Prober)基板

【メーカー Manufacturer】 TSK/TEL 【装置型式】 UF200/UF200A/P8XL【品名】 CPU BOARD/Cognex 4200 Board/ VGAC BOARD/Image relay baord/PROFILE SENSOR/Main driver/PIO Board/Loader PGEN Board/Key CONT/Temperaturer Controller/VIP3/VIP4/MOMI HD Board

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◆ウエハテスト装置基板修理

【メーカー Manufacturer】ADVANTEST/Teradyne /YOKOGAWA 【装置型式(Equipment)】/T5377S/T5377/T5377S/T5375/T5377/T5375/T5377/T5377S/T5365/T5371/T5581/T5585/T5335P/T6731(ND1)/T6732(ND2)/T6733(ND3)/J750/TS6700/ST6730

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◆基板(PCB)修理

【品名】AMAT SBC BOARD(V452, V440)/AMAT VGA BOARD/AMAT VME BOARD/AMAT A/O BOARD/SBC V452/SBC V440/SBC V21/VME PIII 400MHZ/MEI board/VGA video controller board/SEI Board/ANALOG I/O Board/Analog Input Board/Analog Output Board/Digital I/O Board/Digital I/O Card/ASSY PCB STEPPER CNTRLR W/DAUGHTER CARDS/Stepper Controller Board/OMS Board/SERIPLEX MUX BOARD/OTF Centerfinder Board/Chamber Interface 5200 HDP-CVD Ultima/Chamber Interface Board/Mainframe Interface Board/Analog Sync Detect Board/64 CHANNEL MUX Board/SERIPLEX MUX I/O Board/Seriplex SPX-MUXADIO-001/TC AMP Interlock/THERMALOGIC Board/Wafer Orienter Board/CONT ASSY,PRESS PNEU(AMAT CMP ANALOG BOARD, PNEUTRONICS)/AMAT INTER LOCK BOARD/MKS CDN 396R BOARD/AMAT(300MM) PVD CHAMBER INTER LOCK BOARD REV02/PVD/IMP CHAMBER INTER LOCK BOARD/PED-BIAS CHBR I/L PCB BOARD/AS GAS HEATER CONTROL BOARD/INTL GAS HEATER CONTROL BOARD/AMAT CVD INTERGACE BOARD/MASA POWER SYS BOARD /HITACHI MMPC-03A BOARD/NIKON STEPPER BOARD/PCB ASSY 5 PHASE STEPPER DRIVER INTERFAC/AMAT MONOCHROMATOR(EPD)

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◆モーター/モータードライバー(MOTOR/DRIVER)修理

【メーカー Manufacturer】 NSK/Kollmorgen/YASKAWA/Vexta/MITSUBISHI/Allen-Bradley/Pfeiffer/DDI 【Description】 Motor/Driver/Servo Motor/Servo Driver/5-Phase Driver/AC Servo Driver/Ultra Series Driver/Ultra 3000i Driver/Vacuum Turbo Pump Controller/I/O Controller 【Model】 RS0810FN544/RZ0810FN507/EP0810AF3-05/EP0810AF5-05/EP0810AF7-05/EP0810AF8-05/J1003A/Y2020A/Y3040A/M-FZ168/CR10704/CR06250/CR06902/D101A-93-1215-001/D101B-93-1210-014/SGDA-04ASY283/SGDB-44ADG/SGDB-75DGY/SGDM-50ADA/UDK5114N/UDX5114/UDX5128N/MR-J2-40B/MR-J2S-70/MR-J2S-200CP/1398-SR3AF/ASM-300/010X/019X/020X/030X/050X/TC600/TIC250/TC750/27-10157-00

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