◆チラー(温調器)修理・改造

【メーカー】 SMC / RISSHI(リッシー) / 三栄技研 / Weinreich / NESLAB / ORION(オリオン) / 西山工業 / HACHIKOU / アクアテック / 伸和コントロールズ / ダイキン / HABOR / RASCO (ラスコ) / TAITEC (タイテック) / ニコン製ステッパー(冷凍機改造) / CKD / ステップサイエンス / 東京精密 【型式】 INR*系 / CS-*系 / μEX-****系 / TCW-****系 / MX-*00系 / HX-**0系 / RTE-***系 / AP-*00系 / RKF-1*0系 / RKL-***0系 / RKS-**0系 / / RKE***00系 / CH*系 / UBR*系 / WTC-2*00系 / CH-40*系 掲載していないメーカー・機種でもまずはご相談ください。

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◆ロボット(Robot)修理

【メーカー Manufacturer】 Brooks/Genmark /Kensington/Asyst/IDE /ADE/AMAT /RORZE/JEL /ISEL/TAZMO /MECS /Cybeq robot/Canon/Nikon/Axcelis/Kawasaki/Yaskawa/ISEL prealigner/Novellous : PRI/VTR(MAG) series /HP/VHP

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◆基板(PCB)修理

【品名】AMAT SBC BOARD(V452, V440)/AMAT VGA BOARD/AMAT VME BOARD/AMAT A/O BOARD/SBC V452/SBC V440/SBC V21/VME PIII 400MHZ/MEI board/VGA video controller board/SEI Board/ANALOG I/O Board/Analog Input Board/Analog Output Board/Digital I/O Board/Digital I/O Card/ASSY PCB STEPPER CNTRLR W/DAUGHTER CARDS/Stepper Controller Board/OMS Board/SERIPLEX MUX BOARD/OTF Centerfinder Board/Chamber Interface 5200 HDP-CVD Ultima/Chamber Interface Board/Mainframe Interface Board/Analog Sync Detect Board/64 CHANNEL MUX Board/SERIPLEX MUX I/O Board/Seriplex SPX-MUXADIO-001/TC AMP Interlock/THERMALOGIC Board/Wafer Orienter Board/CONT ASSY,PRESS PNEU(AMAT CMP ANALOG BOARD, PNEUTRONICS)/AMAT INTER LOCK BOARD/MKS CDN 396R BOARD/AMAT(300MM) PVD CHAMBER INTER LOCK BOARD REV02/PVD/IMP CHAMBER INTER LOCK BOARD/PED-BIAS CHBR I/L PCB BOARD/AS GAS HEATER CONTROL BOARD/INTL GAS HEATER CONTROL BOARD/AMAT CVD INTERGACE BOARD/MASA POWER SYS BOARD /HITACHI MMPC-03A BOARD/NIKON STEPPER BOARD/PCB ASSY 5 PHASE STEPPER DRIVER INTERFAC/AMAT MONOCHROMATOR(EPD)

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半導体製造装置 各種ユニット修理、エクスチェンジ、中古機販売

ここに掲載していないメーカー・機種でもまずはご相談ください。 静電チャック(ESC)修理 <工程(使用シーン)>Etch / CVD / Implant / PVD / Ashing / Testing 制御パソコン修理 […]

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