表面検査装置

概要 ノンパターンウェーハ(ベアシリコンおよび各種成膜)のパーティクルを⾼感度で測定可能です。 光源に⻘紫⾊レーザダイオード(Violet LD)を搭載し、パーティクル管理に最適な性能と圧倒的なコストフォーマンスを誇る装 […]

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洗浄装置 (枚葉スピン式精密洗浄装置 )

概要 シリコンウエハ(SiC等)両面を薬液、純水、ブラシ、2流体ジェットを始めとした処理を実施することにより、ウエハ両面のパーティクル、金属等の不純物を除去、洗浄する。 高プロセス性能、コストパフォーマンスに優れた洗浄装 […]

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オゾン水生成機器

オゾン水生成機器●コスト低減 ▶ 既存薬液からオゾン水への代替。 ●プロセス性能向上/半導体ウエハ洗浄 ▶ パーティクル、金属、有機物等不純物の除去 太陽電池パネルでの発電効率アップ ▶ 良好テクスチャー形成、不純物除去など ●環境負荷低減 (環境フレンドリー)/薬液排出の低減化によるゼロエミッション

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