◆静電チャック（ESC）修理
【工程（使用シーン）】Etch／CVD／Implant／PVD／Ashing／Testing／【装置】LAM 【 374 】【 608 】【 611 】／AMAT DPS-Ⅱ ESC (12 インチ／AMAT ENABLER（ E MAX) (12 インチ）／NOVELLUS CONCEPT SPEED Ⅱ(8 インチ）／MATTSON PARADIGM E (12インチ）／AMAT HDP ESC (8 & 12 インチ)／AMAT HDP ／NOVELLUS CONCEPT SPEED Ⅲ(12 インチ）／NISSIN ESC (6 ＆8 インチ）／ULVAC ESC (5＆ 6 ＆8 インチ）／AMAT CHARGER ESC (12 インチ）／ULVAC ENTRON ESC (12 インチ）／PSK COOLING CHUCK (12インチ）／PROBER CHUCK (8 インチ）／PROBER CHUCK (12インチ）
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