◆マスフローコントローラー(MFC)修理
【メーカー Manufacturer】 Horiba/STEC/Unit/AERA/MKS/Brooks/日立金属/SAM 【型式】 PV-/SEC-/Horiba Z/STEC PV-/STEC Z/Unit/Unit UFC /Unit UFM/Unit UPC/AERA FC/AERA PA/MKS/Brooks/Emcore/Hitachi/SAM
◆制御パソコン修理
【メーカー Manufacturer】 NEC/FUJITSU/HP/HP9000 ワークステーション/工業用HP9000 ワークステーション/DELL/SUN ワークステーション/digital 【型式】 FC9801/9821/FUJITSU FMVシリーズ/シリーズ700 ― 712、715、725、745、747/Bクラス ―B132L、B180L、B2000、B2600/Cクラス ―C8000/742、743、744、745i、747i、748/Optiples GX280、Precision 670、PowerEdge 2950、Power Vault 120T/SPARCstation 5/10/20/Ultral1/140、170/UltralSPARCⅡ - Ultra30/60/80/UltralSPARCⅡi -Sun Blade150、Ultral5/10/UltralSPARCⅡi -Sun Blade1500/2500、Sun Ultral25/45/PDP-11/73、83、93/VAXstation 4000-90、90A、96/AlphaStation 255/300、DS10/DMCC ETM25、ETM31、ETM33
◆静電チャック(ESC)修理
【工程(使用シーン)】Etch/CVD/Implant/PVD/Ashing/Testing/【装置】LAM 【 374 】【 608 】【 611 】/AMAT DPS-Ⅱ ESC (12 インチ/AMAT ENABLER( E MAX) (12 インチ)/NOVELLUS CONCEPT SPEED Ⅱ(8 インチ)/MATTSON PARADIGM E (12インチ)/AMAT HDP ESC (8 & 12 インチ)/AMAT HDP /NOVELLUS CONCEPT SPEED Ⅲ(12 インチ)/NISSIN ESC (6 &8 インチ)/ULVAC ESC (5& 6 &8 インチ)/AMAT CHARGER ESC (12 インチ)/ULVAC ENTRON ESC (12 インチ)/PSK COOLING CHUCK (12インチ)/PROBER CHUCK (8 インチ)/PROBER CHUCK (12インチ)
半導体製造装置 各種ユニット修理、エクスチェンジ、中古機販売
ここに掲載していないメーカー・機種でもまずはご相談ください。 静電チャック(ESC)修理 <工程(使用シーン)>Etch / CVD / Implant / PVD / Ashing / Testing 制御パソコン修理 […]