◆マッチングボックス（MATCH）修理
【メーカー Manufacturer】 AMAT／ENI／AE／Kyosan 【Model】 P5000/HE／MWD／Navigator／TCE7822S 【Part No】 ETCH 0010-09416 0010-36162／H.E.ETCH 0010-30686／DPS 0010-36114 0010-36408／T/F CVD 0010-09750 0010-09417 0010-04138／T/F PVD 0010-20524 0010-20525／H.E.PVD 0010-22225 0010-13627 0010-02372／0010-22161 0010-05846 0010-13878 0010-21748／0010-01929 0010-02977 0010-12112 0010-02113／0010-30236 0010-33724 0010-26180 0010-30236／0010-33724 0010-21748 0010-02372 0010-26180／MWD-25LD-02/MWD-25LD-06/MWD-55LD／3155132-001/004／3155123-011／3155126-005/009/011/020／3155162-023/027/037/041／3155166-012/014／MBK20-T019
◆RF電源（RF GENERATOR）修理
【メーカー Manufacturer】ENI／Kyosan／AE／COMDEL／ADTEC／OEM／NOVA／GMW／GHW／ACG／RFG／RF／AX／【Model】OEM／NOVA／GMW／GHW／ACG／RFG／RF／AX
◆マイクロン電源（MICROWAVE）修理
【メーカー Manufacturer】MKS／Daihen 【Description】 Smart Power／MW Generator／MW Magnetron Head／Smart Match／DC Power Supply／MW Power Supply／MW Auto Tuner 【Model No】 FI20160-3／AX2115/S15ITBC／FI20162-3／SXRHC／FI10002／AX3060-10／FI20045／FI10001／ECOPS／ATP-30B／ATP-15B／ATP-10B／AKP-60B／ATM-30A／ATM-15C／AKM-60B／SMA-30D1／SMA-20B／SMA-15B
◆リモートプラズマソース 修理
【メーカー Manufacturer】 MKS／AE 【Description】 RPS-2L／RPS-3L／RPS-4L／RPS-6L／RPS-8L／RPS-15L／RPS-22L／RPS-30L／Rapid (6KW) 【Model No】 FI20120/FI20620/FI26201／AX7650/AX7651/AX7657/AX7658／AX7675/AX7851／AX7670／FI80130/AX7680／FI80131/FI80133／AX7685／FI80132／FI80146／AX7640／AX7645RH/AX7645PS／AX7635／AX7665/AX7667／3151801-004/3151801-004A/3151801-003B
◆マスフローコントローラー（MFC）修理
【メーカー Manufacturer】 Horiba/STEC／Unit／AERA／MKS／Brooks／日立金属/SAM 【型式】 PV-／SEC-／Horiba Z／STEC PV-／STEC Z／Unit／Unit UFC ／Unit UFM／Unit UPC／AERA FC／AERA PA／MKS／Brooks／Emcore／Hitachi／SAM
◆制御パソコン修理
【メーカー Manufacturer】 NEC／FUJITSU／HP／HP9000 ワークステーション／工業用HP9000 ワークステーション／DELL／SUN ワークステーション／digital 【型式】 FC9801/9821／FUJITSU FMVシリーズ／シリーズ700 ― 712、715、725、745、747／Bクラス ―B132L、B180L、B2000、B2600／Cクラス ―C8000／742、743、744、745i、747i、748／Optiples GX280、Precision 670、PowerEdge 2950、Power Vault 120T／SPARCstation 5/10/20／Ultral1/140、170／UltralSPARCⅡ - Ultra30/60/80／UltralSPARCⅡi -Sun Blade150、Ultral5/10／UltralSPARCⅡi -Sun Blade1500/2500、Sun Ultral25/45／PDP-11/73、83、93／VAXstation 4000-90、90A、96／AlphaStation 255/300、DS10／DMCC ETM25、ETM31、ETM33
◆静電チャック（ESC）修理
【工程（使用シーン）】Etch／CVD／Implant／PVD／Ashing／Testing／【装置】LAM 【 374 】【 608 】【 611 】／AMAT DPS-Ⅱ ESC (12 インチ／AMAT ENABLER（ E MAX) (12 インチ）／NOVELLUS CONCEPT SPEED Ⅱ(8 インチ）／MATTSON PARADIGM E (12インチ）／AMAT HDP ESC (8 & 12 インチ)／AMAT HDP ／NOVELLUS CONCEPT SPEED Ⅲ(12 インチ）／NISSIN ESC (6 ＆8 インチ）／ULVAC ESC (5＆ 6 ＆8 インチ）／AMAT CHARGER ESC (12 インチ）／ULVAC ENTRON ESC (12 インチ）／PSK COOLING CHUCK (12インチ）／PROBER CHUCK (8 インチ）／PROBER CHUCK (12インチ）