◆ターボポンプ、ターボポンプコントローラー 修理
【メーカー Manufacturer】 Alcatel／Mitsubishi／Osaka／Shimadzu／Ebara／EDWARDS／Varian／ULVAC／Leybold／Pfeiffer 【ターボポンプ型式】 MDP／ATP／ATH／PT／FT／TG／TH／TMP／TMPV／ET／EXT／STP／V／UTM／TW／MAG／Hipace／TPH／TMH
◆ロボット（Robot）修理
【メーカー Manufacturer】 Brooks／Genmark ／Kensington／Asyst／IDE ／ADE／AMAT ／RORZE／JEL ／ISEL／TAZMO ／MECS ／Cybeq robot／Canon/Nikon／Axcelis／Kawasaki／Yaskawa／ISEL prealigner／Novellous : PRI／VTR(MAG) series ／HP/VHP
◆ウエハプローバ(Prober)基板
【メーカー Manufacturer】 TSK／TEL 【装置型式】 UF200／UF200A／P8XL【品名】 CPU BOARD／Cognex 4200 Board／ VGAC BOARD／Image relay baord／PROFILE SENSOR／Main driver／PIO Board／Loader PGEN Board／Key CONT／Temperaturer Controller／VIP3／VIP4／MOMI HD Board
◆ウエハテスト装置基板修理
【メーカー Manufacturer】ADVANTEST／Teradyne ／YOKOGAWA 【装置型式(Equipment)】／T5377S／T5377/T5377S／T5375/T5377／T5375/T5377/T5377S／T5365／T5371／T5581／T5585／T5335P／T6731(ND1)／T6732(ND2)／T6733(ND3)／J750／TS6700／ST6730
◆基板(PCB）修理
【品名】AMAT SBC BOARD(V452, V440)／AMAT VGA BOARD／AMAT VME BOARD／AMAT A/O BOARD／SBC V452／SBC V440／SBC V21／VME PIII 400MHZ／MEI board／VGA video controller board／SEI Board／ANALOG I/O Board／Analog Input Board／Analog Output Board／Digital I/O Board／Digital I/O Card／ASSY PCB STEPPER CNTRLR W/DAUGHTER CARDS／Stepper Controller Board／OMS Board／SERIPLEX MUX BOARD／OTF Centerfinder Board／Chamber Interface 5200 HDP-CVD Ultima／Chamber Interface Board／Mainframe Interface Board／Analog Sync Detect Board／64 CHANNEL MUX Board／SERIPLEX MUX I/O Board／Seriplex SPX-MUXADIO-001／TC AMP Interlock／THERMALOGIC Board／Wafer Orienter Board／CONT ASSY,PRESS PNEU(AMAT CMP ANALOG BOARD, PNEUTRONICS)／AMAT INTER LOCK BOARD／MKS CDN 396R BOARD／AMAT(300MM) PVD CHAMBER INTER LOCK BOARD REV02／PVD/IMP CHAMBER INTER LOCK BOARD／PED-BIAS CHBR I/L PCB BOARD／AS GAS HEATER CONTROL BOARD／INTL GAS HEATER CONTROL BOARD／AMAT CVD INTERGACE BOARD／MASA POWER SYS BOARD ／HITACHI MMPC-03A BOARD／NIKON STEPPER BOARD／PCB ASSY 5 PHASE STEPPER DRIVER INTERFAC／AMAT MONOCHROMATOR(EPD)
◆モーター/モータードライバー（MOTOR/DRIVER）修理
【メーカー Manufacturer】 NSK／Kollmorgen／YASKAWA／Vexta／MITSUBISHI／Allen-Bradley／Pfeiffer／DDI 【Description】 Motor／Driver／Servo Motor／Servo Driver／5-Phase Driver／AC Servo Driver／Ultra Series Driver／Ultra 3000i Driver／Vacuum Turbo Pump Controller／I/O Controller 【Model】 RS0810FN544/RZ0810FN507／EP0810AF3-05/EP0810AF5-05/EP0810AF7-05/EP0810AF8-05／J1003A/Y2020A/Y3040A／M-FZ168／CR10704/CR06250/CR06902／D101A-93-1215-001/D101B-93-1210-014／SGDA-04ASY283/SGDB-44ADG/SGDB-75DGY/SGDM-50ADA／UDK5114N/UDX5114/UDX5128N／MR-J2-40B/MR-J2S-70/MR-J2S-200CP／1398-SR3AF/ASM-300／010X/019X/020X/030X/050X／TC600/TIC250/TC750／27-10157-00
◆DC電源（DC POWER SUPPLY）修理
AE／DC Power Supply／【Model No】MDX-L6K／MDX-L6K-HALO／MDX-10K／MDX-L12M／MDX-L12M-650／PINNACLE 6K／PINNACLE 10K／PINNACLE 20K
◆マッチングボックス（MATCH）修理
【メーカー Manufacturer】 AMAT／ENI／AE／Kyosan 【Model】 P5000/HE／MWD／Navigator／TCE7822S 【Part No】 ETCH 0010-09416 0010-36162／H.E.ETCH 0010-30686／DPS 0010-36114 0010-36408／T/F CVD 0010-09750 0010-09417 0010-04138／T/F PVD 0010-20524 0010-20525／H.E.PVD 0010-22225 0010-13627 0010-02372／0010-22161 0010-05846 0010-13878 0010-21748／0010-01929 0010-02977 0010-12112 0010-02113／0010-30236 0010-33724 0010-26180 0010-30236／0010-33724 0010-21748 0010-02372 0010-26180／MWD-25LD-02/MWD-25LD-06/MWD-55LD／3155132-001/004／3155123-011／3155126-005/009/011/020／3155162-023/027/037/041／3155166-012/014／MBK20-T019
◆RF電源（RF GENERATOR）修理
【メーカー Manufacturer】ENI／Kyosan／AE／COMDEL／ADTEC／OEM／NOVA／GMW／GHW／ACG／RFG／RF／AX／【Model】OEM／NOVA／GMW／GHW／ACG／RFG／RF／AX
◆マイクロン電源（MICROWAVE）修理
【メーカー Manufacturer】MKS／Daihen 【Description】 Smart Power／MW Generator／MW Magnetron Head／Smart Match／DC Power Supply／MW Power Supply／MW Auto Tuner 【Model No】 FI20160-3／AX2115/S15ITBC／FI20162-3／SXRHC／FI10002／AX3060-10／FI20045／FI10001／ECOPS／ATP-30B／ATP-15B／ATP-10B／AKP-60B／ATM-30A／ATM-15C／AKM-60B／SMA-30D1／SMA-20B／SMA-15B
◆リモートプラズマソース 修理
【メーカー Manufacturer】 MKS／AE 【Description】 RPS-2L／RPS-3L／RPS-4L／RPS-6L／RPS-8L／RPS-15L／RPS-22L／RPS-30L／Rapid (6KW) 【Model No】 FI20120/FI20620/FI26201／AX7650/AX7651/AX7657/AX7658／AX7675/AX7851／AX7670／FI80130/AX7680／FI80131/FI80133／AX7685／FI80132／FI80146／AX7640／AX7645RH/AX7645PS／AX7635／AX7665/AX7667／3151801-004/3151801-004A/3151801-003B
◆マスフローコントローラー（MFC）修理
【メーカー Manufacturer】 Horiba/STEC／Unit／AERA／MKS／Brooks／日立金属/SAM 【型式】 PV-／SEC-／Horiba Z／STEC PV-／STEC Z／Unit／Unit UFC ／Unit UFM／Unit UPC／AERA FC／AERA PA／MKS／Brooks／Emcore／Hitachi／SAM