◆リモートプラズマソース 修理
【メーカー Manufacturer】 MKS/AE 【Description】 RPS-2L/RPS-3L/RPS-4L/RPS-6L/RPS-8L/RPS-15L/RPS-22L/RPS-30L/Rapid (6KW) 【Model No】 FI20120/FI20620/FI26201/AX7650/AX7651/AX7657/AX7658/AX7675/AX7851/AX7670/FI80130/AX7680/FI80131/FI80133/AX7685/FI80132/FI80146/AX7640/AX7645RH/AX7645PS/AX7635/AX7665/AX7667/3151801-004/3151801-004A/3151801-003B