◆リモートプラズマソース 修理
【メーカー Manufacturer】 MKS／AE 【Description】 RPS-2L／RPS-3L／RPS-4L／RPS-6L／RPS-8L／RPS-15L／RPS-22L／RPS-30L／Rapid (6KW) 【Model No】 FI20120/FI20620/FI26201／AX7650/AX7651/AX7657/AX7658／AX7675/AX7851／AX7670／FI80130/AX7680／FI80131/FI80133／AX7685／FI80132／FI80146／AX7640／AX7645RH/AX7645PS／AX7635／AX7665/AX7667／3151801-004/3151801-004A/3151801-003B