工程（使用シーン）装置Parts NoType
EtchLAM　【 374 】【 608 】【 611 】839-019090-374Ceramic ESC
EtchLAM　【 374 】【 608 】【 611 】839-019090-608Ceramic ESC
EtchLAM　【 374 】【 608 】【 611 】839-019090-611Ceramic ESC
EtchAMAT　DPS-Ⅱ ESC (12 インチ0040-33215Spray coat ESC (Single)
EtchAMAT　ENABLER（ E MAX) (12 インチ）0040-63476Ceramic《 ALN 》 ESC
EtchNOVELLUS　CONCEPT SPEED Ⅱ(8 インチ）02-121096-00Ceramic　ESC　（Cu　base）
EtchNOVELLUS　CONCEPT SPEED Ⅱ(8 インチ）02-257120-00Ceramic　ESC　（Cu　base）
EtchNOVELLUS　CONCEPT SPEED Ⅱ(8 インチ）02-134263-00Ceramic　ESC　（Cu　base）
EtchMATTSON PARADIGM E (12インチ）3004863-4-ACeramic　ESC　（Heater　built in ceramic）
EtchAMAT HDP ESC (8 & 12 インチ)FB320853 (4インチ）Ceramic　ESC　（Silicone bonded ceramic plate）
EtchAMAT HDP ESC (8 & 12 インチ)715299 (6インチ）Ceramic　ESC　（Silicone bonded ceramic plate）
EtchAMAT HDP ESC (8 & 12 インチ)716299 (6インチ）Ceramic　ESC　（Silicone bonded ceramic plate）
EtchAMAT HDP ESC (8 & 12 インチ)FB32143(6インチ）Ceramic　ESC　（Silicone bonded ceramic plate）
EtchAMAT HDP ESC (8 & 12 インチ)FB319626 (8インチ）Ceramic　ESC　（Silicone bonded ceramic plate）
CVDAMAT HDP 0040-18219 (8 インチ)Spray coat ESC (Single)
CVDAMAT HDP 0040-18053 (8 インチ)Spray coat ESC (Single)
CVDAMAT HDP 0040-48594 (12 インチ)Spray coat ESC (Single)
CVDNOVELLUS　CONCEPT SPEED Ⅲ(12 インチ）02-267289-00Ceramic　ESC　（Cu　base）
CVDNOVELLUS　CONCEPT SPEED Ⅲ(12 インチ）15-265814-00Ceramic　ESC　（Cu　base）
ImplantNISSIN　ESC (6 ＆8 インチ）NI97-08586Silicone　　Rubber
ImplantULVAC　ESC (5＆ 6 ＆8 インチ）UL-125-ION-5Silicone　Rubber
ImplantULVAC　ESC (5＆ 6 ＆8 インチ）UL-150-ION-3Silicone　Rubber
ImplantULVAC　ESC (5＆ 6 ＆8 インチ）UL-200-ION-2Silicone　Rubber
PVDAMAT　CHARGER ESC (12 インチ）0041-11565Spray　coat ESC (Single
PVDAMAT　CHARGER ESC (12 インチ）0040-52042Spray　coat ESC (Single
PVDULVAC　ENTRON ESC (12 インチ）Silicone-290-TCA-NT-02Silicone　　Rubber
AshingPSK COOLING CHUCK (12インチ）DES002Anodized heater
AshingPSK COOLING CHUCK (12インチ）DES004Anodized heater
TestingPROBER　CHUCK (8 インチ）-Al + Ni & Au plating
TestingPROBER　CHUCK (12インチ）-Al + Ni plating
カテゴリー
静電チャック（ESC）
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