◆チラー（温調器）修理・改造


【メーカー】 SMC / RISSHI（リッシー） / 三栄技研 / Weinreich / NESLAB / ORION（オリオン） / 西山工業 / HACHIKOU / アクアテック / 伸和コントロールズ / ダイキン / HABOR / RASCO　（ラスコ） / TAITEC　（タイテック） / ニコン製ステッパー(冷凍機改造) / CKD / ステップサイエンス / 東京精密 【型式】 INR*系 / CS-*系 / μEX-****系 / TCW-****系 / MX-*00系 / HX-**0系 / RTE-***系 / AP-*00系 / RKF-1*0系 / RKL-***0系 / RKS-**0系 / / RKE***00系 / CH*系 / UBR*系 / WTC-2*00系 / CH-40*系　掲載していないメーカー・機種でもまずはご相談ください。

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◆ロボット（Robot）修理

【メーカー Manufacturer】 Brooks／Genmark ／Kensington／Asyst／IDE ／ADE／AMAT ／RORZE／JEL ／ISEL／TAZMO ／MECS ／Cybeq robot／Canon/Nikon／Axcelis／Kawasaki／Yaskawa／ISEL prealigner／Novellous : PRI／VTR(MAG) series ／HP/VHP

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◆基板(PCB）修理

【品名】AMAT SBC BOARD(V452, V440)／AMAT VGA BOARD／AMAT VME BOARD／AMAT A/O BOARD／SBC V452／SBC V440／SBC V21／VME PIII 400MHZ／MEI board／VGA video controller board／SEI Board／ANALOG I/O Board／Analog Input Board／Analog Output Board／Digital I/O Board／Digital I/O Card／ASSY PCB STEPPER CNTRLR W/DAUGHTER CARDS／Stepper Controller Board／OMS Board／SERIPLEX MUX BOARD／OTF Centerfinder Board／Chamber Interface 5200 HDP-CVD Ultima／Chamber Interface Board／Mainframe Interface Board／Analog Sync Detect Board／64 CHANNEL MUX Board／SERIPLEX MUX I/O Board／Seriplex SPX-MUXADIO-001／TC AMP Interlock／THERMALOGIC Board／Wafer Orienter Board／CONT ASSY,PRESS PNEU(AMAT CMP ANALOG BOARD, PNEUTRONICS)／AMAT INTER LOCK BOARD／MKS CDN 396R BOARD／AMAT(300MM) PVD CHAMBER INTER LOCK BOARD REV02／PVD/IMP CHAMBER INTER LOCK BOARD／PED-BIAS CHBR I/L PCB BOARD／AS GAS HEATER CONTROL BOARD／INTL GAS HEATER CONTROL BOARD／AMAT CVD INTERGACE BOARD／MASA POWER SYS BOARD ／HITACHI MMPC-03A BOARD／NIKON STEPPER BOARD／PCB ASSY 5 PHASE STEPPER DRIVER INTERFAC／AMAT MONOCHROMATOR(EPD)

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半導体製造装置 各種ユニット修理、エクスチェンジ、中古機販売

ここに掲載していないメーカー・機種でもまずはご相談ください。 静電チャック（ESC）修理 ＜工程（使用シーン）＞Etch / CVD / Implant / PVD / Ashing / Testing 制御パソコン修理 […]

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