◆マイクロン電源(MICROWAVE)修理

【メーカー Manufacturer】MKS/Daihen 【Description】 Smart Power/MW Generator/MW Magnetron Head/Smart Match/DC Power Supply/MW Power Supply/MW Auto Tuner 【Model No】 FI20160-3/AX2115/S15ITBC/FI20162-3/SXRHC/FI10002/AX3060-10/FI20045/FI10001/ECOPS/ATP-30B/ATP-15B/ATP-10B/AKP-60B/ATM-30A/ATM-15C/AKM-60B/SMA-30D1/SMA-20B/SMA-15B

続きを読む
◆リモートプラズマソース 修理

【メーカー Manufacturer】 MKS/AE 【Description】 RPS-2L/RPS-3L/RPS-4L/RPS-6L/RPS-8L/RPS-15L/RPS-22L/RPS-30L/Rapid (6KW) 【Model No】 FI20120/FI20620/FI26201/AX7650/AX7651/AX7657/AX7658/AX7675/AX7851/AX7670/FI80130/AX7680/FI80131/FI80133/AX7685/FI80132/FI80146/AX7640/AX7645RH/AX7645PS/AX7635/AX7665/AX7667/3151801-004/3151801-004A/3151801-003B

続きを読む
◆マスフローコントローラー(MFC)修理

【メーカー Manufacturer】 Horiba/STEC/Unit/AERA/MKS/Brooks/日立金属/SAM 【型式】 PV-/SEC-/Horiba Z/STEC PV-/STEC Z/Unit/Unit UFC /Unit UFM/Unit UPC/AERA FC/AERA PA/MKS/Brooks/Emcore/Hitachi/SAM

続きを読む