◆ロボット（Robot）修理
【メーカー Manufacturer】 Brooks／Genmark ／Kensington／Asyst／IDE ／ADE／AMAT ／RORZE／JEL ／ISEL／TAZMO ／MECS ／Cybeq robot／Canon/Nikon／Axcelis／Kawasaki／Yaskawa／ISEL prealigner／Novellous : PRI／VTR(MAG) series ／HP/VHP
◆マスフローコントローラー（MFC）修理
【メーカー Manufacturer】 Horiba/STEC／Unit／AERA／MKS／Brooks／日立金属/SAM 【型式】 PV-／SEC-／Horiba Z／STEC PV-／STEC Z／Unit／Unit UFC ／Unit UFM／Unit UPC／AERA FC／AERA PA／MKS／Brooks／Emcore／Hitachi／SAM