◆ロボット（Robot）修理
【メーカー Manufacturer】 Brooks／Genmark ／Kensington／Asyst／IDE ／ADE／AMAT ／RORZE／JEL ／ISEL／TAZMO ／MECS ／Cybeq robot／Canon/Nikon／Axcelis／Kawasaki／Yaskawa／ISEL prealigner／Novellous : PRI／VTR(MAG) series ／HP/VHP
◆マッチングボックス（MATCH）修理
【メーカー Manufacturer】 AMAT／ENI／AE／Kyosan 【Model】 P5000/HE／MWD／Navigator／TCE7822S 【Part No】 ETCH 0010-09416 0010-36162／H.E.ETCH 0010-30686／DPS 0010-36114 0010-36408／T/F CVD 0010-09750 0010-09417 0010-04138／T/F PVD 0010-20524 0010-20525／H.E.PVD 0010-22225 0010-13627 0010-02372／0010-22161 0010-05846 0010-13878 0010-21748／0010-01929 0010-02977 0010-12112 0010-02113／0010-30236 0010-33724 0010-26180 0010-30236／0010-33724 0010-21748 0010-02372 0010-26180／MWD-25LD-02/MWD-25LD-06/MWD-55LD／3155132-001/004／3155123-011／3155126-005/009/011/020／3155162-023/027/037/041／3155166-012/014／MBK20-T019