◆ロボット(Robot)修理
【メーカー Manufacturer】 Brooks/Genmark /Kensington/Asyst/IDE /ADE/AMAT /RORZE/JEL /ISEL/TAZMO /MECS /Cybeq robot/Canon/Nikon/Axcelis/Kawasaki/Yaskawa/ISEL prealigner/Novellous : PRI/VTR(MAG) series /HP/VHP
◆マッチングボックス(MATCH)修理
【メーカー Manufacturer】 AMAT/ENI/AE/Kyosan 【Model】 P5000/HE/MWD/Navigator/TCE7822S 【Part No】 ETCH 0010-09416 0010-36162/H.E.ETCH 0010-30686/DPS 0010-36114 0010-36408/T/F CVD 0010-09750 0010-09417 0010-04138/T/F PVD 0010-20524 0010-20525/H.E.PVD 0010-22225 0010-13627 0010-02372/0010-22161 0010-05846 0010-13878 0010-21748/0010-01929 0010-02977 0010-12112 0010-02113/0010-30236 0010-33724 0010-26180 0010-30236/0010-33724 0010-21748 0010-02372 0010-26180/MWD-25LD-02/MWD-25LD-06/MWD-55LD/3155132-001/004/3155123-011/3155126-005/009/011/020/3155162-023/027/037/041/3155166-012/014/MBK20-T019