◆DC電源（DC POWER SUPPLY）修理
AE／DC Power Supply／【Model No】MDX-L6K／MDX-L6K-HALO／MDX-10K／MDX-L12M／MDX-L12M-650／PINNACLE 6K／PINNACLE 10K／PINNACLE 20K
◆マッチングボックス（MATCH）修理
【メーカー Manufacturer】 AMAT／ENI／AE／Kyosan 【Model】 P5000/HE／MWD／Navigator／TCE7822S 【Part No】 ETCH 0010-09416 0010-36162／H.E.ETCH 0010-30686／DPS 0010-36114 0010-36408／T/F CVD 0010-09750 0010-09417 0010-04138／T/F PVD 0010-20524 0010-20525／H.E.PVD 0010-22225 0010-13627 0010-02372／0010-22161 0010-05846 0010-13878 0010-21748／0010-01929 0010-02977 0010-12112 0010-02113／0010-30236 0010-33724 0010-26180 0010-30236／0010-33724 0010-21748 0010-02372 0010-26180／MWD-25LD-02/MWD-25LD-06/MWD-55LD／3155132-001/004／3155123-011／3155126-005/009/011/020／3155162-023/027/037/041／3155166-012/014／MBK20-T019
◆RF電源（RF GENERATOR）修理
【メーカー Manufacturer】ENI／Kyosan／AE／COMDEL／ADTEC／OEM／NOVA／GMW／GHW／ACG／RFG／RF／AX／【Model】OEM／NOVA／GMW／GHW／ACG／RFG／RF／AX
◆リモートプラズマソース 修理
【メーカー Manufacturer】 MKS／AE 【Description】 RPS-2L／RPS-3L／RPS-4L／RPS-6L／RPS-8L／RPS-15L／RPS-22L／RPS-30L／Rapid (6KW) 【Model No】 FI20120/FI20620/FI26201／AX7650/AX7651/AX7657/AX7658／AX7675/AX7851／AX7670／FI80130/AX7680／FI80131/FI80133／AX7685／FI80132／FI80146／AX7640／AX7645RH/AX7645PS／AX7635／AX7665/AX7667／3151801-004/3151801-004A/3151801-003B