◆DC電源(DC POWER SUPPLY)修理

AE/DC Power Supply/【Model No】MDX-L6K/MDX-L6K-HALO/MDX-10K/MDX-L12M/MDX-L12M-650/PINNACLE 6K/PINNACLE 10K/PINNACLE 20K

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◆マッチングボックス(MATCH)修理

【メーカー Manufacturer】 AMAT/ENI/AE/Kyosan 【Model】 P5000/HE/MWD/Navigator/TCE7822S 【Part No】 ETCH 0010-09416 0010-36162/H.E.ETCH 0010-30686/DPS 0010-36114 0010-36408/T/F CVD 0010-09750 0010-09417 0010-04138/T/F PVD 0010-20524 0010-20525/H.E.PVD 0010-22225 0010-13627 0010-02372/0010-22161 0010-05846 0010-13878 0010-21748/0010-01929 0010-02977 0010-12112 0010-02113/0010-30236 0010-33724 0010-26180 0010-30236/0010-33724 0010-21748 0010-02372 0010-26180/MWD-25LD-02/MWD-25LD-06/MWD-55LD/3155132-001/004/3155123-011/3155126-005/009/011/020/3155162-023/027/037/041/3155166-012/014/MBK20-T019

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◆RF電源(RF GENERATOR)修理

【メーカー Manufacturer】ENI/Kyosan/AE/COMDEL/ADTEC/OEM/NOVA/GMW/GHW/ACG/RFG/RF/AX/【Model】OEM/NOVA/GMW/GHW/ACG/RFG/RF/AX

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◆リモートプラズマソース 修理

【メーカー Manufacturer】 MKS/AE 【Description】 RPS-2L/RPS-3L/RPS-4L/RPS-6L/RPS-8L/RPS-15L/RPS-22L/RPS-30L/Rapid (6KW) 【Model No】 FI20120/FI20620/FI26201/AX7650/AX7651/AX7657/AX7658/AX7675/AX7851/AX7670/FI80130/AX7680/FI80131/FI80133/AX7685/FI80132/FI80146/AX7640/AX7645RH/AX7645PS/AX7635/AX7665/AX7667/3151801-004/3151801-004A/3151801-003B

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