表面検査装置

概要

• ノンパターンウェーハ(ベアシリコンおよび各種成膜)のパーティクルを⾼感度で測定可能です。
• 光源に⻘紫⾊レーザダイオード(Violet LD）を搭載し、パーティクル管理に最適な性能と圧倒的なコストフォーマンスを誇る装置です。

用途

ノンパターンウェーハのパーティクル測定（Bare-Si/各種成膜）

デバイス量産⼯程	プロセス・⼯程管理 設備メンテ前後のパーティクル検査・管理 設備導⼊後のパーティクル管理・検査
新規ライン構築・設備導⼊	設備設置後のパーティクル検査・管理
ウェーハ・再生ウェーハメーカ	プロセス・⼯程管理・出荷検査
レジスト・薬剤・研磨剤	パーティクル検査・評価
装置・設備メーカ	開発・製造・出荷前のパーティクル評価等

特長

高感度測定	短波⻑レーザの採用による⾼感度化
高ダイナミックレンジ（Bare-Si）	0.048μm〜5.0μm　WM-10 0.079μm〜5.0μm　WM-7S/7SG
高い感度安定性	繰返し測定の再現性1％以下（標準偏差σ）
高コストパフォーマンス	低価格で高性能
低ランニングコスト	Violet LD採用による⻑寿命・低消費電⼒設計

製品情報

ウエハ表面検査装置　WM-10

パターン化されていない300ｍｍウエハ表面検査システム
300ｍｍウエハの標準モデル
60nm高感度検査システム

ウエハ表面検査装置　WM-7S/7SG

WM-7シリーズは、ウェーハサイズが200mm未満の最も合理的な高性能モデルです。
WM-7SGは、透明ウェーハを検査できます。