概要
- ノンパターンウェハ(ベアシリコンおよび各種成膜)のパーティクルを⾼感度で測定可能です。
- 光源に⻘紫⾊レーザダイオード(Violet LD）を搭載し、パーティクル管理に最適な性能と圧倒的なコストフォーマンスを誇る装置です。
用途
ノンパターンウェハのパーティクル測定（Bare-Si/各種成膜）
| デバイス量産⼯程 | プロセス・⼯程管理 設備メンテ前後のパーティクル検査・管理 設備導⼊後のパーティクル管理・検査 |
| 新規ライン構築・設備導⼊ | 設備設置後のパーティクル検査・管理 |
| ウェハ・再生ウェハメーカ | プロセス・⼯程管理・出荷検査 |
| レジスト・薬剤・研磨剤 | パーティクル検査・評価 |
| 装置・設備メーカ | 開発・製造・出荷前のパーティクル評価等 |
特長
| 高感度測定 | 短波⻑レーザの採用による⾼感度化 |
| 高ダイナミックレンジ（Bare-Si） | 0.048μm〜5.0μm WM-10 0.079μm〜5.0μm WM-7S |
| 高い感度安定性 | 繰返し測定の再現性1％以下（標準偏差σ） |
| 高コストパフォーマンス | 低価格で高性能 |
| 低ランニングコスト | Violet LD採用による⻑寿命・低消費電⼒設計 |
製品情報
ウェハ表面検査装置 WM-10
パターン化されていない300ｍｍウェハ表面検査システム
300ｍｍウェハの標準モデル
48nm高感度検査システム
【概略仕様】
| 対応ウェハサイズ | 100㎜～300㎜ |
| 感度 | 0.048um Bare Wafer |
| 光源 | Violet LD （約405nm) |
| 走査方式 | スパイラルスキャン |
| 再現性σ/x¯ | 1.0％以下 |
| ローダ | FOUP(1 or2)/Open Cassette |
| サイズ | 1482mm×1173mm×1950mm |
| アプリケーション | ベアウェハ/成膜ウェハ |
ウェハ表面検査装置 WM-7S
WM-7シリーズは、ウェハサイズが200mm未満の最も合理的な高性能モデルです。
【概略仕様】
| 対応ウェハサイズ | 50㎜～200㎜ |
| 感度 | 0.079um Bare Wafer |
| 光源 | Violet LD （約405nm) |
| 走査方式 | スパイラルスキャン |
| 再現性σ/x¯ | 1.0％以下 |
| ローダ | Open Cassette |
| サイズ | 860mm×900mm×1650mm |
| アプリケーション | ベアウェハ/成膜ウェハ |
