洗浄装置 （枚葉スピン式精密洗浄装置 ）

概要 シリコンウエハ(SiC等)両面を薬液、純水、ブラシ、2流体ジェットを始めとした処理を実施することにより、ウエハ両面のパーティクル、金属等の不純物を除去、洗浄する。 高プロセス性能、コストパフォーマンスに優れた洗浄装 […]

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