オゾン水生成機器

オゾン水生成機器

オゾン水生成機器●コスト低減 ▶ 既存薬液からオゾン水への代替。
●プロセス性能向上/半導体ウエハ洗浄 ▶ パーティクル、金属、有機物等不純物の除去
太陽電池パネルでの発電効率アップ ▶ 良好テクスチャー形成、不純物除去など
●環境負荷低減 （環境フレンドリー）/薬液排出の低減化によるゼロエミッション