表面検査装置

概要 ノンパターンウェーハ(ベアシリコンおよび各種成膜)のパーティクルを⾼感度で測定可能です。 光源に⻘紫⾊レーザダイオード(Violet LD）を搭載し、パーティクル管理に最適な性能と圧倒的なコストフォーマンスを誇る装 […]

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