オゾン水生成機器

オゾン水生成機器●コスト低減 ▶ 既存薬液からオゾン水への代替。 ●プロセス性能向上/半導体ウエハ洗浄 ▶ パーティクル、金属、有機物等不純物の除去 太陽電池パネルでの発電効率アップ ▶ 良好テクスチャー形成、不純物除去など ●環境負荷低減 (環境フレンドリー)/薬液排出の低減化によるゼロエミッション

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