表面検査装置

概要 用途 ノンパターンウェハのパーティクル測定（Bare-Si/各種成膜） デバイス量産⼯程 プロセス・⼯程管理設備メンテ前後のパーティクル検査・管理設備導⼊後のパーティクル管理・検査 新規ライン構築・設備導⼊ 設備設 […]

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洗浄装置 （枚葉スピン式精密洗浄装置 ）

概要 用途 構成 特長 製品情報 枚葉スピン式精密洗浄装置 （型式：CLシリーズ） 【概略仕様】 【プロセス性能仕様】 ●小フットプリント

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オゾン水生成機器


オゾン水生成機器●コスト低減 ▶ 既存薬液からオゾン水への代替。
●プロセス性能向上/半導体ウェハ洗浄 ▶ パーティクル、金属、有機物等不純物の除去
太陽電池パネルでの発電効率アップ ▶ 良好テクスチャー形成、不純物除去など
●環境負荷低減 （環境フレンドリー）/薬液排出の低減化によるゼロエミッション

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