概要
水戸工業株式会社は韓国AUROS Technology社の日本国内総代理店 (Exclusive Agency) です。
半導体デバイスのプロセス管理、生産性の向上に貢献することを目指しています。
ウエーハ重ね合わせ測定装置／ウエーハ裏面検査装置／パッケージ重ね合わせ測定装置／パッケージ検査装置
用途
重ね合わせ測定装置はDRAM、NAND Flashなどのメモリー、CMOSセンサー、各種ロジック製品の重ね合わせを測定して生産管理のためのデータを提供する装置です。
重ね合わせ測定とは
半導体デバイスの製造はウエーハに蒸着（deposition）、露光（Photo Lithography）、エッチング（Etch）の各工程を順番に繰り返してパターンを形成します。
その各パターン層 (Layer) は半導体デバイスの微細化によって、より正確な位置に重ねる必要があります。
重ね合わせ測定装置は露光による各パターン層間のずれを「重ね合わせマーク」を用いて測定して製造プロセスにその測定情報を伝達する役割を持っています。
特長
AUROS Technology社はレガシー市場対応のOL-100ｎから最新プロセス対応のOL-900ｎまで、幅広いラインアップの重ね合わせ測定装置を取り揃えています。
製品情報
OL-900n
OL-900nは第5世代の重ね合わせ測定装置です。
最新の半導体デバイスの生産技術に対応しています。
DRAM、NAND Flashなどのメモリー、CMOSセンサー、最先端ロジック製品の重ね合わせ測定装置です。
特徴的な技術
Best accuracy & Yield improvement
High precision & Throughput
High resolution pattern recognition
Accurate Overlay Control (AOC)
OL-800n
OL-800nは第4世代の重ね合わせ測定装置です。成熟した技術で安定した稼働実績を持っています。
特徴的な技術
Best accuracy & Yield improvement
High precision & throughput
High resolution pattern recognition
Accurate Overlay Control (AOC)
Process monitoring
Data analysis tool (EUREKA)
Auto Recipe Optimization (ARO) & ARO manager (Recipe converter)
Dual Band Color Filter
Tunable NA
OL-100n
OL-100nはレガシープロセスに対応するための重ね合わせ測定装置です。
重ね合わせとCD測定が可能で、測定速度の速さと利便性を兼ね備えています。
シリコンウエーハだけでなくSiC, GaN, GaAsなど多様のプロセスに対応した重ね合わせ測定に対応します。
特徴的な技術
Brand New 6/8” Overlay Metrology System
High Throughput
Low Cost of Ownership (CoO)
Real-time data output
Optical CD Measurement (Resolution ≥ 0.5㎛)
